辽宁扩散泵真空抽气系统操作存在问题分析

辽宁扩散泵抽真空系统的操作过程要留意：减少系统反流、冷阱的实际操作及其系统的常见故障维护问题。超滤装置的反流包含扩散泵泵液从扩散泵向真空室的转移和机械设备泵油系统的有机化学空气污染物。

油扩散泵工作时，无论应用哪种泵油，即便泵口加冷阱，也都会多多少少地有一部分油蒸汽反流进到高真空泵端。他们在扩散泵口创建的工作压力，有时候比在泵壁溫度下的饱和状态油蒸气压也要高许多 。这不仅危害超滤装置的極限工作压力，并且还对被抽器皿导致环境污染，因此返油率是扩散泵系统的关键考核标准。

在辽宁扩散泵抽气系统中，反流主要受下列三个要素操纵：

1）扩散泵、冷阱和障板；

2）粗抽骨架密封式机械泵、阱和管路；

3）系统操作流程。

因而务必有效减少从这三个来源的总流量。辽宁扩散泵系统能够应用一个液态氮冷阱或常温下阱来减少来源于粗抽泵的环境污染。液态氮冷阱比较有效，但维护保养成本费较高，因而不常见；常温下阱不用经常制冷，但到某一時刻便会饱和状态；碳分子筛、三氧化二铝都可以用以常温下阱，可是水蒸汽会迅速使碳分子筛阱饱和状态，而且会增加粗抽周期时间。虽然碳分子筛阱可以清除99%之上的空气污染物，可是也会以其粉碎的颗粒进到高压闸阀和机械泵內部，而加速高压闸阀和泵壳內部的损坏。除开这些用液态氮制冷的阱之外，其他种类的阱在一切正常应用的状况下大概三个月便会饱和状态，如不重视维修保养，这种阱便会无效。换用蒸汽放低的机械设备泵油可合理地降低机械设备泵油的反流。

选用润湿性能好的油也可减少反流。磨擦最后会使机械设备泵油的特性受到影响，因此机械设备机械泵务必按时换机油。假如用机械泵做辽宁扩散泵的前端泵，则在前端管路处在分子结构流时，机械设备泵油便会随意地流入扩散泵。选用分馏型扩散泵能够变弱这类影响因素，由于泵能清除高蒸气压的馏分并将它排在前端管路中去。

选用恰当的系统操作步骤能够减少抽气系统的返总流量。即便是设计方案优良的超滤装置，不适度的实际操作也会导致个人工作室比较严重的环境污染。超滤装置中的辽宁扩散泵和粗抽泵都是在互相交界处的工作压力范围地区有较大的反流，在粗抽真空室时和从粗抽变换到辽宁扩散泵系统抽气时要留意这类问题。