沈阳真空泵的抽速和真空机组的配置

不同的真空体系要求的真空度不同。因而往往有必要由一套真空机组来完结，即由作业在不同压力规模的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能到达体系要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组便是一台直排大气的沈阳真空泵。但高真空体系一般需求三级机组，中真空一般需求二级机组。

一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。流量的连续性便是其中之一。高真空泵都有前级耐压的约束，即前级高于某一压力，泵就不能正常作业。而当前级泵到达这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必定会引起真空机组不能正常作业。但如在凹凸真空泵之间再连接一台中真空泵，便可起到承上启下的效果，流量连续，并且各泵皆可作业在较佳状态。罗茨泵能作业在中真空规模，是适合的，故又称罗茨增压泵，由于其压缩比不高，正好可连接几Pa至几百Pa的规模。当三级高真空机组进入较高的真空度时，由于主泵的排气流量显着削减，此刻仅靠一台较小的前级泵便可保持抽气的连续性，在实际运用中这是常常选用的方法，这样可削减机组的能耗。

高真空机组往往需求三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的约束。泵都有起始作业压强，传统的高真空泵都在几Pa的规模。因而前级泵有必要预抽到这一压力主泵才干开端作业。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需求较长的时刻，由于随着压力下降泵的抽速在减小，特别是关于周期性抽气的真空机组，对到达作业真空度的时刻是有要求的，预抽时刻越长，进入作业真空度的时刻也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵合作，可在较短的时刻到达主泵能够作业的压力，这样能够使体系尽快地进入作业压力，保证了设备的使用功率。

罗茨泵和油增压泵都能够作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能取得清洁真空外还具有优异的高真空功能，一起在中真空规模也有超强的抽气才能。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空功能的沈阳真空泵，所以只需求与低真空泵合作便能组成功能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽担负。分子增压泵能够在100-50Pa作业，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每通过时刻压力下降一个数量级的规律，因而，机组能够具有很高的抽气功率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。关于较大型的高真空使用设备，也可适当加强前级泵的预抽才能，进一步缩短抽气时刻，由于预抽时刻与整个排气过程比较很短，所曾经级泵的使用时刻也很短，因而能够兼作多套设备的预抽效果，而这往往是非常实际的。这就使规模化使用的真空机组得到大大的简化。

在某些中真空使用中，需求进入10-1Pa规模，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度进步一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空使用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa能够满抽速，所以亦能够在三级中真空机组中替代两级罗茨泵。一般地讲，长时刻作业在中真空的低端压力规模的罗茨泵，分子增压泵能够完全替代。而长时刻作业在中真空压力规模的罗茨泵相对而言应该较少，由于这一压力规模前级泵往往还具有微弱的抽速。

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